海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)觀(guan)測(ce)，是一切海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)活動的(de)開始，是透明海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)、智慧海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)和海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)信息化的(de)重(zhong)要(yao)(yao)基礎，海(hai)(hai)(hai)水(shui)溫度、鹽度、深度是最基礎的(de)海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)環境信息,因此溫鹽深(conductivity temperature depth,CTD)是海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)調查和觀(guan)測(ce)中最重(zhong)要(yao)(yao)的(de)觀(guan)測(ce)項目。傳感器是海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)觀(guan)測(ce)技術(shu)的(de)核心基礎技術(shu)，因海(hai)(hai)(hai)洋(yang)(yang)領域特殊(shu)應用環境，具有技術(shu)難度更(geng)(geng)高、制造(zao)工藝(yi)更(geng)(geng)為復雜(za)的(de)特性。
目前, 國(guo)(guo)外在海(hai)洋傳感(gan)(gan)器的產(chan)(chan)業化方面已經相當成熟, 產(chan)(chan)品性(xing)能(neng)也居(ju)于(yu)世界領先地位。國(guo)(guo)產(chan)(chan)海(hai)洋傳感(gan)(gan)器技術研究(jiu)雖已經取(qu)得了長足進(jin)(jin)步(bu)，部分指標甚(shen)至已達到國(guo)(guo)際先進(jin)(jin)水(shui)平(ping), 但其產(chan)(chan)品的批量生(sheng)產(chan)(chan)幾(ji)乎空白(bai), 業務應用更是嚴重(zhong)依賴(lai)于(yu)進(jin)(jin)口，進(jin)(jin)口傳感(gan)(gan)器幾(ji)乎占據(ju)了我國(guo)(guo)海(hai)洋調查(cha)的“整壁江山”。如(ru)何(he)打破這一技術受困的局(ju)面，這家本土企業在三(san)年多的潛心(xin)研發(fa)中迎來了重(zhong)大(da)進(jin)(jin)展。
近日，廈(sha)門市敬微精密科技(ji)有(you)限公司(si)基于(yu)MEMS工藝(yi)技(ji)術研制的(de)CYH1454606型深海用壓力傳感器(qi)(qi)（以下簡稱(cheng)CYH1454606型深海傳感器(qi)(qi)）成(cheng)功完成(cheng)千米(mi)海試，各項(xiang)指標比肩業界通用的(de)進口傳感器(qi)(qi)，實現(xian)卡脖子技(ji)術重大(da)突破(po)。
海(hai)(hai)洋(yang)觀測(ce)，是一切海(hai)(hai)洋(yang)活動(dong)的(de)開始(shi)，是透(tou)明海(hai)(hai)洋(yang)、智慧(hui)海(hai)(hai)洋(yang)和(he)海(hai)(hai)洋(yang)信(xin)息化的(de)重要基(ji)礎(chu)(chu)，海(hai)(hai)水溫度、鹽(yan)度、深度是最(zui)基(ji)礎(chu)(chu)的(de)海(hai)(hai)洋(yang)環境(jing)信(xin)息,因(yin)此溫鹽(yan)深(conductivity temperature depth,CTD)是海(hai)(hai)洋(yang)調查和(he)觀測(ce)中最(zui)重要的(de)觀測(ce)項(xiang)目。傳感器是海(hai)(hai)洋(yang)觀測(ce)技術的(de)核心基(ji)礎(chu)(chu)技術，因(yin)海(hai)(hai)洋(yang)領域特(te)殊應用環境(jing)，具有(you)技術難度更高、制造工(gong)藝更為復雜的(de)特(te)性。
目前(qian), 國(guo)(guo)外在(zai)海(hai)洋(yang)傳感器(qi)的(de)產(chan)業(ye)(ye)化方面已經相(xiang)當成熟(shu), 產(chan)品性能也居于(yu)世界領先(xian)地位。國(guo)(guo)產(chan)海(hai)洋(yang)傳感器(qi)技術研究雖(sui)已經取得了(le)長足進(jin)(jin)步，部分指標(biao)甚至已達到國(guo)(guo)際先(xian)進(jin)(jin)水平, 但其產(chan)品的(de)批量生產(chan)幾乎空白, 業(ye)(ye)務(wu)應用更(geng)是嚴重依賴于(yu)進(jin)(jin)口，進(jin)(jin)口傳感器(qi)幾乎占據了(le)我國(guo)(guo)海(hai)洋(yang)調(diao)查的(de)“整壁江山(shan)”。如何打破這一技術受困(kun)的(de)局(ju)面，這家(jia)本土企業(ye)(ye)在(zai)三(san)年多(duo)的(de)潛(qian)心研發中迎來了(le)重大進(jin)(jin)展。
近日，廈(sha)門市敬微精密(mi)科(ke)技(ji)(ji)有限公(gong)司基(ji)于MEMS工藝技(ji)(ji)術研制的(de)CYH1454606型(xing)深海(hai)(hai)用(yong)壓力傳(chuan)感器(qi)（以下簡稱(cheng)CYH1454606型(xing)深海(hai)(hai)傳(chuan)感器(qi)）成功完(wan)成千米(mi)海(hai)(hai)試，各項指(zhi)標(biao)比肩業界通(tong)用(yong)的(de)進口(kou)傳(chuan)感器(qi)，實(shi)現(xian)卡脖子技(ji)(ji)術重大(da)突破。
圖(tu) 1 CYH1454606型深海壓力傳感器固定在CTD架子（左）、ROV兩側（右）的示意圖(tu)
通過搭載(zai)用戶單(dan)位廈門大學的“嘉庚”號科考(kao)船(chuan)，敬微精(jing)密(mi)對CYH1454606型深海(hai)壓力傳(chuan)感器開展了為期一(yi)(yi)周的(de)深海比測試驗（圖(tu)1）。嘉(jia)庚(geng)號是我國(guo)(guo)第(di)一(yi)(yi)艘(sou)采用國(guo)(guo)外方案設(she)計(ji)、國(guo)(guo)內轉(zhuan)化詳細設(she)計(ji)，由高等學校擁有完全知(zhi)識產權的(de)海洋(yang)科(ke)學綜合考察船。該船達到(dao)世界同類型(xing)科(ke)考船頂級水(shui)平，創下多項第(di)一(yi)(yi)。
敬微精密深海比測對象為(wei)國際知名(ming)的溫鹽深剖面儀(yi)（CTD）。測試(shi)結(jie)果(guo)表(biao)明(ming)（圖2），CYH1454606型(xing)深海壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)測量的(de)壓(ya)力值和(he)變化趨(qu)勢與(yu)進口(kou)傳(chuan)感器(qi)高度一致，重合(he)度超過(guo)99.9%。這一成績不僅證明(ming)了我們在深海壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)領域的(de)技(ji)術實力，突破了“卡脖子”技(ji)術，也標(biao)志著(zhu)我國自主(zhu)研(yan)發的(de)深海壓(ya)力傳(chuan)感器(qi)達到(dao)了國際(ji)先進水平(ping)，未來有(you)望在全球海洋技(ji)術競(jing)爭領域掀起(qi)新的(de)波瀾(lan)。
這一(yi)創新的(de)突破(po)，展現了(le)(le)敬微(wei)(wei)(wei)精密(mi)帶(dai)頭人(ren)和一(yi)流(liu)研發團隊的(de)卓越實力，也展現了(le)(le)他們對高端MEMS傳感器的(de)執(zhi)著追求(qiu)。據了(le)(le)解，公司創始人(ren)兼(jian)首席科學(xue)家、CTO系全球(qiu)MEMS微(wei)(wei)(wei)加工領域頂尖專家，為50多家世界級科技企(qi)業提供精密(mi)微(wei)(wei)(wei)加工設備、微(wei)(wei)(wei)加工元(yuan)件(jian)，代表性作品(pin)有(you)SQUID量子超導傳感器、柱列陣元(yuan)件(jian)、高深(shen)寬比的(de)小孔(kong)系列、燃料電池開(kai)發的(de)元(yuan)件(jian)等。
研(yan)發骨(gu)干(gan)來自德(de)國(guo)哥廷根大(da)學(xue)(xue)的理(li)學(xue)(xue)博士(shi)(shi)、德(de)國(guo)馬克斯普(pu)朗克學(xue)(xue)會博士(shi)(shi)后、日(ri)本(ben)國(guo)立共同研(yan)究(jiu)機構分子科學(xue)(xue)研(yan)究(jiu)所(suo)JSPS博士(shi)(shi)后、中國(guo)科學(xue)(xue)院上海光學(xue)(xue)精密(mi)機械研(yan)究(jiu)所(suo)碩(shuo)士(shi)(shi)&博士(shi)(shi)、英(ying)國(guo)帝(di)國(guo)理(li)工(gong)的碩(shuo)士(shi)(shi)以(yi)及(ji)英(ying)國(guo)諾丁漢大(da)學(xue)(xue)、廈門大(da)學(xue)(xue)和國(guo)內(nei)芯片傳感器企業高端人才等。
圖 2 數據(ju)測(ce)試結果和(he)擬合(he)結果（S1站位）
MEMS傳(chuan)(chuan)感(gan)器是智能設備的關鍵組(zu)件(jian)，作(zuo)為國(guo)家政(zheng)策(ce)大力支持(chi)的自(zi)主可(ke)控傳(chuan)(chuan)感(gan)器技術，在(zai)微(wei)型化、低功(gong)耗和高(gao)靈(ling)敏度等方面具(ju)有(you)顯著(zhu)優(you)(you)勢，能夠(gou)在(zai)復雜的海(hai)洋(yang)(yang)環(huan)(huan)境(jing)中穩定(ding)運行。通(tong)過不斷的研發(fa)投入和技術積累，敬微(wei)精(jing)密(mi)在(zai)基(ji)于MEMS技術制造(zao)的高(gao)端(duan)壓(ya)(ya)力芯片傳(chuan)(chuan)感(gan)器領域(yu)已經形成(cheng)了強(qiang)大的技術壁(bi)壘(lei)和競爭(zheng)優(you)(you)勢，已在(zai)深空、深海(hai)等關鍵領域(yu)突(tu)破卡脖子技術。隨著(zhu)海(hai)洋(yang)(yang)環(huan)(huan)境(jing)監測產業的蓬勃發(fa)展，敬微(wei)精(jing)密(mi)團隊(dui)相信，寬溫區(qu)、耐高(gao)壓(ya)(ya)、高(gao)精(jing)度、高(gao)可(ke)靠性的高(gao)端(duan)壓(ya)(ya)力芯片傳(chuan)(chuan)感(gan)器關鍵技術將發(fa)揮更(geng)大的作(zuo)用，推(tui)動我國(guo)海(hai)洋(yang)(yang)環(huan)(huan)境(jing)監測產業向(xiang)更(geng)高(gao)水平邁(mai)進。
廈門市敬(jing)微精密科技有(you)限公司簡介：
廈門市(shi)敬微精密科技(ji)(ji)有(you)限公司是由德國(guo)(guo)、日本歸國(guo)(guo)科學家創(chuang)辦成立的(de)(de)企業(ye)，“雙(shuang)百計劃(hua)”領(ling)軍型人才創(chuang)業(ye)企業(ye)（A類）。中國(guo)(guo)航空學會(hui)會(hui)員(yuan)、中國(guo)(guo)傳感器(qi)與物聯(lian)產業(ye)聯(lian)盟理事、廈門市(shi)集成電路(lu)協會(hui)會(hui)員(yuan)單位(wei)。公司以創(chuang)始人在海(hai)外(wai)三十多年積累的(de)(de)微加工(gong)和超(chao)精密加工(gong)方面的(de)(de)領(ling)先技(ji)(ji)術(shu)及(ji)經(jing)驗，聚焦以MEMS為核心的(de)(de)微加工(gong)技(ji)(ji)術(shu)，攻克“卡脖子”核心技(ji)(ji)術(shu)，解決高(gao)端芯片(pian)傳感器(qi)領(ling)域進口替代問題。
敬微精(jing)密(mi)是一(yi)家核(he)心設備自己制(zhi)造、關鍵工藝自己研發的(de)高(gao)端(duan)MEMS芯片傳(chuan)感器(qi)公司(si)，始終(zhong)堅持以“傳(chuan)感器(qi)核(he)心技術(shu)自主可控”為(wei)己任，依(yi)托自研設備和工藝結合優勢，攻關耐高(gao)溫、高(gao)精(jing)度、高(gao)可靠性的(de)壓力芯片傳(chuan)感器(qi)關鍵技術(shu)，解決長期制(zhi)約我(wo)國航(hang)空航(hang)天、深海(hai)、核(he)能石化和高(gao)端(duan)制(zhi)船等領(ling)域的(de)發動機壓力測量“芯”的(de)難題，以國際頂尖水平的(de)超精(jing)密(mi)加工能力，集中(zhong)做(zuo)自主可控的(de)高(gao)端(duan)MEMS壓力芯片傳(chuan)感器(qi)為(wei)主，填(tian)補(bu)國內市場空白(bai)，實現高(gao)端(duan)領(ling)域“中(zhong)國芯”的(de)突(tu)破。
